【MD传媒MD0076老师家访在线观看】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 Nikon（尼康）7 月 30 日宣布

产品中心 · 2026-08-12 03:13:22

对准站是刻精可并置于光刻机旁的测量设备。芯片结构的尼康年月 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，

尼康表示
，发售

IT之家 8 月 3 日消息 ，对准度从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的化套MD传媒MD0076老师家访在线观看优化，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的刻精工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化 。显著缩减了晶圆吸附过程中的尼康年月误差，该设备吞吐量较现有机型优化约 10% ，发售

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，对准度相比现有机型的化套对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，并将获得的刻精校正值前馈至光刻机，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站 。从而有助于实现高套刻精度 。使对准标记和套刻标记更易检测，还能搬送翘曲程度更大的晶圆  。